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工艺气体元件（特气阀）

名称

工艺气体用元件

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内容

减压阀（压力调节器）　高纯度工艺气体用 AP/SL/AP/AZ

	・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。・接触气体部分经过电解研磨处理。・外部金属密封构造。

其他资料

系列	形式	用途	主体材质	配管连接	配管尺寸
AP/SL	一段式	管路用（小型）	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8''
AP/SL	一段式	管路用	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''
AP/SL	一段式	大宗气体用	SUS316L	面密封接头管焊接	1/2''，3/4''，1''
AP/SL	一段式	一次侧高压用	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''
AP/SL	一段式	负压调节	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''
AP	二段式	一次侧高压用	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8''
AZ	一段式	管路用	SUS316L	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''
AZ	一段式	一次侧高压用	SUS316L	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''
AZ	一段式	负压调节	SUS316L	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''

减压阀（压力调节器）／背压阀　一般气体用 AK/BP

	・从半导体到一般行业都可使用的标准型。・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。

其他资料

系列	型号	用途	主体材质	配管连接	配管尺寸
AK	一段式	气路用	SUS316 或黄铜	NPT内螺纹卡套式接头	1/4''，3/8'' 1/2''
AK	一段式	一次側高压用	SUS316 或黄铜	NPT内螺纹卡套式接头	1/4''，3/8'' 1/2''
AK	一段式	负压调节	SUS316 或黄铜	NPT内螺纹卡套式接头	1/4''，3/8'' 1/2''
AK	二段式	一次側高压用	SUS316 或黄铜	NPT内螺纹卡套式接头	1/4''
BP	背压阀	―	SUS316 或黄铜	NPT内螺纹卡套式接头	1/4''

膜片阀　高纯度工艺气体用 AP

	・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。

其他资料

系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AP	气控型	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''
AP	小型	SUS316L 二次熔炼	面密封接头管焊接	1/4''，3/8'' 1/2''，3/4''

隔膜阀　高纯度工艺气体用 AZ

	・用于精密洗净及洁净室组装。・全部产品均经过了氦气泄漏检测。・符合SEMI规格・采用方便作业的锻造主体。

其他资料

系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AZ	气控型	SUS316L	面密封接头管子焊接	1/4'' 3/8'' 1/2
AZ	手动型	SUS316L	面密封接头管子焊接	1/4'' 3/8'' 1/2

单向阀／真空发生器／流量开关 AP

	［单向阀］・防止背压使流体逆流。・构造简单，内部的可动零部件仅为O形圈。・采用无弹簧的构造，可减少因震颤等产生的颗粒，降低下游的压力变动。［真空发生器］・真空发生器。・用于更换气罐时，排出配管中残余的气体。［流量开关］・检测配管破裂等造成的过剩流量。

其他资料

系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AP	单向阀	SUS316L二次熔炼	面密封接头管子焊接	1/4''，3/8''
AP	真空发生器	SUS316L	面密封接头管子焊接	1/4''，3/8''
AP	流量开关	SUS316L二次熔炼 SUS316L	面密封接头管子焊接	1/2''，3/4''

膜片阀　一般气体用 AK

・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。
・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
・可用于精密洗净。
・降低执行器的高度，实现产品的小型、轻量化（AK3542, 4542）。
・操做通口为M5螺纹（AK3542, 4542）。
・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化（AK3652, 4652）。
・采用有凹凸的圆形手轮，更便于操作和确认（AK3652, 4652）。

其他资料

系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AK	气控型	SUS316	卡套式接头 Rc, R, NPT	1/4''，3/8''
AK	手动型	SUS316	卡套式接头 Rc, R, NPT	1/4''，3/8''

减压阀／一般气体用 AK1000T

	・从半导体到一般行业均可使用的标准型。・产品体型小、重量轻。　质量：0.52kg、高：97.5mm。・内部容积小，其体积存量少。・配管扩展品　可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。

其他资料

系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AK1000T	手动型	SUS316	压缩接头 Rc, NPT	1/4''，3/8''

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工艺气体用元件

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