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![]() | ・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。 ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。 ・接触气体部分经过电解研磨处理。 ・外部金属密封构造。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 用途 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AP/SL | 一段式 | 管路用(小型) | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 大宗气体用 | SUS316L | 面密封接头 管焊接 | 1/2'',3/4'',1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次侧高压用 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 负压调节 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次侧高压用 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次侧高压用 | SUS316L | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 负压调节 | SUS316L | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
![]() | ・从半导体到一般行业都可使用的标准型。 ・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。 |
其他资料 |
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系列 | 型号 | 用途 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AK | 一段式 | 气路用 | SUS316 或黄铜 | NPT内螺纹 卡套式接头 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側高压用 | SUS316 或黄铜 | NPT内螺纹 卡套式接头 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 负压调节 | SUS316 或黄铜 | NPT内螺纹 卡套式接头 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側高压用 | SUS316 或黄铜 | NPT内螺纹 卡套式接头 | 1/4'' |
BP | 背压阀 | ― | SUS316 或黄铜 | NPT内螺纹 卡套式接头 | 1/4'' |
![]() | ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。 ・可作为气体的切断阀使用。 ・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AP | 气控型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 小型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
![]() | ・用于精密洗净及洁净室组装。 ・全部产品均经过了氦气泄漏检测。 ・符合SEMI规格 ・采用方便作业的锻造主体。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AZ | 气控型 | SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | 手动型 | SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
![]() | [单向阀] ・防止背压使流体逆流。 ・构造简单,内部的可动零部件仅为O形圈。 ・采用无弹簧的构造,可减少因震颤等产生的颗粒,降低下游的压力变动。 [真空发生器] ・真空发生器。 ・用于更换气罐时,排出配管中残余的气体。 [流量开关] ・检测配管破裂等造成的过剩流量。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AP | 单向阀 | SUS316L二次熔炼 | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 真空发生器 | SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 流量开关 | SUS316L二次熔炼 SUS316L | 面密封接头 管子焊接 | 1/2'',3/4'' |
![]() | ・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。 ・从半导体到一般行业都可使用的标准型。 ・可用于精密洗净。 ・降低执行器的高度,实现产品的小型、轻量化(AK3542, 4542)。 ・操做通口为M5螺纹(AK3542, 4542)。 ・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化(AK3652, 4652)。 ・采用有凹凸的圆形手轮,更便于操作和确认(AK3652, 4652)。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AK | 气控型 | SUS316 | 卡套式接头 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
AK | 手动型 | SUS316 | 卡套式接头 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
![]() | ・从半导体到一般行业均可使用的标准型。 ・产品体型小、重量轻。 质量:0.52kg、高:97.5mm。 ・内部容积小,其体积存量少。 ・配管扩展品 可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。 |
其他资料 |
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系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
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AK1000T | 手动型 | SUS316 | 压缩接头 Rc, NPT | 1/4'',3/8'' |
管理员刚刚
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